Просмотр публикации #605


Редактор : Некрылова И. М.

Дата создания: 2009-02-03 16:27:34
Дата модификации: 2009-04-02 13:13:09

Наименование :

Авторы :
Фамилия
Имя
Отчество
Вклад

Выходные данные :
Балашов, Д. И. Потоки УФ-квантов на поверхность в условиях плазмохимического травления в хлоре [Текст] / Д. И. Балашов, Ю. В. Кириллов // Межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика – 97». – М., 1997. – С. 3.

Атрибуты библиографической записи

Объект библиографического описания


Язык :
Форма работы :
Категория работы :
Вид публикации для ИАИС :
Общее обозначение материала :
Наименование издания :
Сведения об ответственности издания :
Место издания (город) :
Издательство :
Год издания :
Местоположение (номера страниц) :
Количество страниц (объём) :
Примечание к форме 16 :

Время и место проведения конференции :



Статус : Проверена

PetrSU | DIMS&PhE | Contact Us | © 2008 Lab127 Team