Просмотр публикации #244


Редактор : Никитин С. А.

Дата создания: 2008-05-24 00:06:34
Дата модификации: 2009-11-12 20:28:07

Наименование :

Авторы :
Фамилия
Имя
Отчество
Вклад

Выходные данные :
Стефанович, Г. Б. Аморфный оксид ванадия – новый неорганический резист для микро- и нанолитографии [Текст] / Г. Б. Стефанович, А. Л. Пергамент, А. А. Величко, Н. А. Кулдин, П. П. Борисков // Аморфные и микрокристаллические полупроводники: Сборник трудов IV Междун. конф. / СПбГПУ. – СПб., 2004. – С. 307-308.

Атрибуты библиографической записи

Объект библиографического описания


Язык :
Форма работы :
Категория работы :
Вид публикации для ИАИС :
Общее обозначение материала :
Наименование издания :
Сведения об ответственности издания :
Место издания (город) :
Издательство :
Год издания :
Местоположение (номера страниц) :
Количество страниц (объём) :
Примечание к форме 16 :



Статус : Проверена

PetrSU | DIMS&PhE | Contact Us | © 2008 Lab127 Team