Просмотр публикации #1110


Редактор : Некрылова И. М.

Дата создания: 2010-03-04 14:39:37
Дата модификации: 2010-03-13 00:15:56

Наименование :

Авторы :
Фамилия
Имя
Отчество
Вклад

Выходные данные :
Стефанович, Г. Б. Сухое проявление резиста на основе оксида ванадия травлением в плазме [Текст] / Г. Б. Стефанович, А. Л. Пергамент, А. А. Величко, Д. Г. Стефанович // Материалы конф. по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2001, Петрозаводск, 1–7 июля 2001 г. / Отв. ред. А. Д. Хахаев ; ПетрГУ. – Петрозаводск, 2001. – Т. 2. – С. 169–172.

Атрибуты библиографической записи

Объект библиографического описания


Язык :
Форма работы :
Категория работы :
Вид публикации для ИАИС :
Общее обозначение материала :
Наименование издания :
Сведения об ответственности издания :
Место издания (город) :
Издательство :
Год издания :
Местоположение (номера страниц) :
Количество страниц (объём) :
Примечание к форме 16 :

Номер издания :



Статус : Проверена

PetrSU | DIMS&PhE | Contact Us | © 2008 Lab127 Team